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瑞士XRNanotech高精度、高性能X射線光柵的簡介

更新時間:2022-07-18 點擊次數:1055


瑞士XRNanotech高的精密度、高性能X射線光柵

X電子束光柵在生命安全、生物質能源、有關的材料、生態、食材等各個領域中具備最重要操作,隨著X電子束光柵事非常高精度的光學材料元器件,對制做技藝的特殊要求很高,需要是制做高品線質量的二維X電子束光柵的高難度越大,因為,高品線質量的二維X電子束光柵受到有關的科研項目考生的期侍。


XRnanotech在X電子束光電技術科研和激發行業領域的新改革創新,擊破了可能會的界限。依附Paul Scherrer科研所激發的技術,加上優異的工程能力和高水平的質量控制,造就了X射線光學關鍵器件。


確認銥線倍頻技術設備兌換最高鑒別率

依靠自己線倍頻技木,可不易以做到準確度到5nm的X放射性元素束準確把握,而成了現在記錄的持續者。產生了是這樣準確度的準確把握,X放射性元素顯像的糞便率可達到高的關卡,使早就不易見的工具臉變可看得出,并做到了北京現代新款的利用。該方式方法基本工藝流程是在表現陽離子蝕刻剝落基低的結構很久,在稀少摸板上涂覆多一層銥氧原子層。


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利于閃亮光電技術具體方法SEO質量

光電技術元器的光波效果越高,透光性的光波就越低,這象征著效果越高的光電技術元器能否為滿足同一的受眾減少時候和能源。與按理來說光波效果程度值為40.5%的傳統與現代二元光柵光電技術優于,僅不斷曾加一階的熠熠光柵能否將程度值不斷提高到68.4%,而再不斷曾加一階的熠熠光柵達到81.1%。


針對電子為了滿足電子時代發展的需求,束光刻的制做粗加工處理,而沒有機制刻劃,能不累完成多階耀眼光柵的定制粗加工處理。在實際的粗加工處理時候中,XRnatotech以經完成了衍射波帶片的電子束使用率提高50%,而服務行業的標準是5-10%,絕大絕對多數數相對較最先進的水平最多也只提高25%。這個,不光能將試驗事件減少,推動了專業進步發展,還能將在大中型X光譜線源努力行試驗的總成本減少。


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金剛石光學材料的輻射穩定性

在以往式幾百年終,X放光譜線源的曝光度驟降上升時,恣意電子器材二氧化碳激光器的曝光度起到太陽星曝光度的一千萬倍大于。這建造了關健性的論述業務領域,但也表露了不在少數X放光譜線磁學薄膜電子元電子元器件的關健片面性的只性,在遠比高的輔射能量消耗下,這么多電子元電子元器件簡單開始融化。XRnanotech開發建設出種策略,即用最耐熱的當然資料單支金剛石精加工磁學薄膜開關元件。金剛石磁學薄膜需要輕松愉快頂住FEL X放光譜線束的標準,而減輕癥狀FEL實驗性中的此種痛點。


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到目前為止,XRnanotech已作XX射線范圍廣技術應用提供了多類光電器件器件:






Zernicke相襯三維成像應用軟件:






有關的論文:

B. R?sner et al. Exploiting atomic layer deposition for fabricating sub-10 nm X-ray lenses Microelectronic Engineering 191 (2018) p. 91

B. R?sner et al. 7 nm spatial resolution in soft x-ray microscopy Microscopy and Microanalysis 24 (2018) p. 270

K. Jefimovs et al. A zone doubling technique to produce ultra-high resolution x-ray optics Physical Review Letters 99 (2007) p. 264801

J. Vila-Comamala et al. Advanced Thin Film Technology for Ultrahigh Resolution X-Ray Microscopy Ultramicroscopy 109 (2009) p. 1360

P. Karvinen et al. Kinoform diffractive lenses for efficient nano-focusing of hard X-rays Optics Express 22 (2014) p. 16676

I. Mohacsi et al. High efficiency X-ray nanofocusing by multilevel zone plates Journal of Synchrotron Radiation 21 (2014) p. 497

I. Mohacsi et al. Fabrication and characterization of high efficiency double-sided blazed X-ray optics Optics Letters 41 (2016) p. 281

C. David et al. Nanofocusing of hard X-ray free electron laser pulses using diamond based Fresnel zone plates Scientific Reports 1 (2011) p. 57

M. Makita et al. Diamond diffraction gratings for experiments with intense hard x-rays Microelectronic Engineering 176 (2017) p. 75

N. Kujala et al. Characterizing transmissive diamond gratings as beam splitter for hard X-ray singleshot spectrometer of European XFEL Journal of Synchrotron Radiation 26 (2019) p. 708




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