多波长动态干涉仪-上海昊量光电设备有限公司

多波長動態干涉儀

闡述陳述：Kaleo MultiWAVE多波長動態干涉儀同時可提供媲美Fizeau干涉儀測量精度，及動態干涉儀的抗震性能。

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生產廠商屬性：代理商

更新換代日子：2021-12-20

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品牌	其他品牌	產地類別	進口
應用領域	電子	多波長動態干涉儀	納米級相位分辨率

Kaleo MultiWAVE多波長動態干涉儀

【KALEO MultiWAVE 概況】

Phasics在光學計量領域持續創新，推出能夠兼顧測量電子散射波前誤差值和射線波前隨機誤差（TWE / RWE）的革命性新產品：Kaleo MultiWAVE動態干涉儀。直徑高至5.1英寸（130毫米）的鍍膜和未鍍膜的光學器件可在其工作波長下直接進行測量。 Kaleo MultiWAVE是購買多臺干涉儀或特殊波長干涉儀的有效替代方案，擁有*性價比。該系統同時可提供媲美Fizeau干涉儀測量精度，及動態干涉儀的抗震性能。

【并于Phasics】

Phasics是一家專注于高分辨率波前傳感技術的法國公司。Phasics公司憑借其在測量方面的專業經驗與*的波前測量技術為客戶提供全面的高性能波前傳感器。

一、 Kaleo MultiWAVE多波長動態干涉儀主耍亮點

紅外光譜、不難發現光、近紅外、短波紅外、中遠紅外等任意尺寸多光波長來樣加工
單臺涉及儀可集成型各個本職工作激發光譜
奈米級相位分辯率
混凝土泵送動態性條件 (>500 細條紋數)

二、KALEO MultiWAVE 應用

電子光電器件元器件封裝及電子光電器件平臺計量檢定

三、KALEO MultiWAVE 量測情況

四、KALEO MultiWAVE 技術指標性能(1)

RMS重復性 (2)	< 0.7 nm (< λ / 900)
測量精度	80 nm PV (3)
動態范圍（離焦值）	500 fringes (SFE = 150 μm)
可測反射率范圍	4% - 100%

(1) 四英寸口徑，使用625 nm光源

(2) 在4厘米對比鏡上執行工作36次持續側量，每一個次側量操作均化臨界值16次。對比舉例為大多數奇數側量的平衡值。 RMS多次精確性舉例為RMS平衡差值，算上偶數側量值與對比當中差值的的標準誤差值的2倍。(3) 1 µm PV 離焦像差下

多波長動態干涉儀

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