SEM刻蚀子系统-上海昊量光电设备有限公司

品牌	其他品牌	價格區間	10萬-30萬
組件類別	其他	應用領域	綜合

SEM高速公路刻蝕子體系

XENOS刻寫子系統是一種允許設計圖案數據并產生用于帶電粒子束（例如用于半導體光刻應用或聚焦離子束系統的電子束）轉向的相應偏轉信號的系統。可以連接到傳統的掃描電子顯微鏡、FIB或雙光設備上，升級系統，在半導體或其他材料上進行納米光刻。

髙速刻寫

會進行高達hg40MHz的相素效率。致使主要包括了自動化拷貝網站優化算法，會注重所選SEM的有限公司英文偏轉無線傳輸速率。網站優化的數劇無線傳輸和可靠時段計算出與高拷貝效率相一致，以供給很快拷貝的其他缺點。

智慧且專用的模式

使用三階多項式掃描邏輯，可以僅基于硬件以Max速度生成和寫入這些多項式。因此，圓形、環形或橢球體可以由同心的單像素環書寫，通常在曝光過程中不需要消隱。并且，可以用Min的數據開銷和傳輸時間來實現理想的寫入速度和近似質量。此外，與結構的多邊形部分的光柵掃描相比，偏轉信號的正弦形狀消耗的偏轉帶寬要小得多。同時，寫入算法對稱地使用X軸和Y軸的帶寬。

高靈活性

模塊化系統可以進行配置，以滿zu您的需求。邏輯配置和DSP內核可以在幾分鐘內更新，以提供新功能。

設置高，用接面合理

完美的偏轉手機數據信號合成是在每軸16/32位的可編學習思想電子元器件中保證的。非常是場調整不用傳輸速率被限的乘法模擬系統DAC，就是數字1打造的，運轉到Max刻錄進程，而在產生的偏轉手機數據信號中沒得其它偏色。控制系統ECP來源于Linux或Windows適用，CAD要素可在運轉組中人權適用。

SEM刻蝕子系統應用圖例：

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SEM刻蝕子系統

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