品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
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應用領域 | 電子 | 納米模式下的Z軸分辨率 | 30pm微起伏模式(使用原子級光滑鏡) |
納米表面輪廓儀
IMOS納米表面輪廓儀實現了精確、定量、iso兼容、非接觸式表面測量和表征微和納米尺度的表面特征,在短短幾秒鐘內可捕獲多達200萬個數據點。選擇正確的光學輪廓儀系統取決于您的應用程序的要求,包括速度、精度、垂直范圍、自動化和靈活性。
IMOS光纖激光切割機的表皮邊界儀在非相處式光纖激光切割機的表皮邊界方位供給了龐大的基礎性。產生該機操作系統,它能能簡單方便熱鍵地測試各個表皮型,是指油亮、粗燥、寬闊、傾角和階梯式。擁有的測試全都是高質量的,加快的,不可以特殊化的產品的樣品打算。奈米工藝表皮邊界儀機操作系統的價值體系是組成部分相干光抵觸工藝,它供給亞奈米工藝gps精度測試更寬泛的表皮比某些商業圈用于工藝。IMOS 納米表面輪廓儀提供了不同的應用程序的特殊價值,如平直,粗糙度,波浪形,臺階高度等等。
IMOS 納米表面輪廓儀配備了一個變焦頭,可以填充離散變焦光學定制的系統。樣本分段配置范圍從*自動化到*自動化的編碼行程。
納米表面輪廓儀主耍優點有哪些:
- 奈米策略下的Z軸判斷率: ~ 30pm微變化方式(動用氧分子級圓滑鏡) ~ 0.3um微地貌類型摸式下- 自己的外觀緊湊型轎車;- 盡快反映;- 抗異常噪聲;- 測定的過程 自己化階段高;- 特出的手機用戶團結的菜單欄;- 優質量管理的圖行畫面,以工作的與多打算三維立體代表的量測但是;- 多方面的有機會性配資的光學顯微鏡,以不同的社會形態-邏輯關系的測定外層;- 可本職工作在五種摸式:微雕刻貼圖和納米雕刻貼圖;- *的貯存系統性性和量測成果的系統性性化。 在硅基鋼板上的Pdpe膜,寬度100nm硅晶狀體表面上的階地,寬度為0.314nm在硅基鋼板上的Pdpe膜,寬度100nm 微落差基本模式下的自動測量結果顯示硅晶體表面的階地,高度為0.314nm
認證口徑,標稱高度值為101nm±3%
IMOS納米表面輪廓儀組成
光電探測器*
矩形ccd-1392*1040 px
光源 *
LED (λeff = 630 nm)
顯微物鏡*
20x (or 10x, 5x) 2 items
放大率不變
1d (Z) range 50 mm
2d (XY) range 75x50 mm
控制器
CCD-相機抓幀器
位移臺控制器
設備控制器
軟件
Software for working with IMOS
System / MS Windows
微地貌模式下的測量結果
認證口徑, 厚 40 ± 1,2 μm
衍射元件, 厚 3,7 μm
衍射元件, 厚 3,7 μm
技術指標
測量區域
0,4x0,3 mm2 (for 20X)
像素尺寸
0,3 μm (for 20X)
橫向分辨率
Not worse 1 μm
測量模式
微地貌模式
微起伏模式
Z軸分辨率
微地貌模式 ~ 0,3 μm
微起伏模式 ~ 30 pm (with atomically smoth mirror)
測量范圍
微地貌模式 up to 50 mm
微起伏模式 up to 20 μm
測量速度
微地貌模式 ~ 4 μm/s
微起伏模式 ~ 20 μm/10s