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M-cat磁場均勻性檢測系統
昊量光電新推出M-cat 磁場強度平滑性查重系統,可以快速精準的對濺射設備磁控管和磁棒的測量質量精準控制。旋轉磁控管和可調磁棒可以在浮法的玻璃鍍膜的濺射過程中進行精確測量和分析及可靠地識別有異常現象的磁控管和磁棒。可以提高層厚的均勻性并且可以避免濺射。
M-cat 交變電場透亮性判斷系統軟件常見介紹英文:
在破璃或硅上濺射需要高質量標準。即使形成沉積層高度的微小波動也會顯著影響層的特性。用于窗戶和立面結構的浮法的玻璃在顏色和透射特性方面可能會發生某些變化。作為太陽能電池生產基礎的玻璃涂層厚度的變化會導致電性能的不對稱。
濺射氣態的分壓或電磁波能否優化層的基本特性。是由于氣態物質的轉變 同個會會影響層的物質,往往針對層板材的厚度的調節,僅能否廣泛應用電磁波的抑制和修飾。M-cat 磁場均勻性檢測系統以高精度表征管狀磁控管,使操作員能夠控制濺射裝置中的磁性元件。除了對磁體分配進行精確測量和分析外,M-cat磁場均勻性檢測系統還為可調節磁控管提供幫助,為確保高可靠性,確定了磁控管的幾何形狀(偏轉)。
使用M-cat 磁場均勻性檢測系統能否加劇:
整個過程安全可信度,由于能夠對新磁控管開始進購檢則,并能夠更早、更安全不靠譜地查測到有缺陷的磁控管。
層板材厚度的透亮性,可能就可能以穩定策略設為調節器磁控管,或者是就可能更易于地組成合適的的磁控管。
靶材的利用平均壽命,是由于能夠避開投入細密型靶材的濺射。
M-cat 磁場均勻性檢測系統突出亮點:
查看全面的交變電場輪廓圖
可給予應用在半圓形負極和扁型負極磁控管的操作系統
能否在已有的制作的過程中推行該系統
可上下調整磁控管上下調整氧化硅功能鍵
高都可以性
MHLS-線形霍爾感應器器首要水平指標圖:
在 1 20分鐘內做完檢測的
場歷程的立體圖形表示法
加測蕞小和蕞大磁感線抗彎強度
以 CSV 各式存放和另存單獨測試系統的模塊
可能記載目的指標(直徑不低于、偏轉)
稍稍微調一下整可稍稍微調一下整磁控管的手游輔助效果
粗度為 0.4 - 4.0m
電場安裝:33 個短信通道(X、Y、Z)+/- 1%
磁控管的幾何圖形形態(磁鐵用途器件的所在位置):+/- 0.1mm
目標值的結合形壯(網套直徑、偏轉):+/- 0.1mm
存在人身安全過渡期菅理、幾種視圖和配置頁面的游戲
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