品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 進口 |
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應用領域 | 醫療衛生,化工,生物產業,電子 | | |
拖拽式二塑煉鉬CVD配制設備
一、 概述
硫粉預熱器采用管內測控溫以保證在250℃以下,穩定控制硫蒸汽的蒸發時機和蒸發溫度。真空機組裝有真空粉塵過濾器以保護機械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復合真空計(在1000Pa以上測量不受氣體種類影響,耐硫蒸氣腐蝕),通過調節真空蝶閥的開啟程度調節爐管內壓力穩定,在1200℃以下的工藝溫度穩定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。
二、 設備組成
HCVD-1200S雙溫區管式爐,HTF400C硫粉預熱器(雙溫區管式爐與預熱器可滑動),質量流量計供氣系統,機械式真空泵等組成。
三、 主要技術參數
硫粉預熱器
機型:HTF-400C本職工作攝氏度:350℃MAX溫度因素:400℃MAX變熱帶寬:30℃/min舉薦變多效率:10℃/min控溫方案:智慧化30段可程序設計操縱運作線電壓:AC220 V最大功率最大功率:800W控溫高精度:±1℃蒸汽加熱開關元件:阻值絲 雙溫區混煉爐 型號查詢:HCVD-1200S技術水平指標:額定工作效率工作效率(KW):3穩定的電壓(V):AC220v 50/60 HzMAX溫(℃):1200(1 hour)持繼辦公溫度因素(℃):1100回升效率(℃/min):≤50爐管規格尺寸(mm):高純石英砂管Φ50×1500mm預熱區高度(mm):440mm控溫區粗度(mm):200mm 控溫形式:不清楚PID操縱和自整定轉換,智力化30段可程序設計操縱,包括超無刺激斷偶報警實用功能實用功能控溫高精度(℃):±1
加熱元件:電阻絲
供氣系統GMF3Z
質理流量數據計單重:35Kg形狀規格型號:600x600x650mm連入頭形式:雙卡套冷庫保溫隔熱板的表層管接頭的標準分度值(N2校零):50sccm、200sccm、500sccm; (可通過手機用戶需要定制化)精準的度:±1.5%線形:±0.5~1.5%抄襲表面粗糙度:±0.2%積極響應時段:氣基本性能特點:1~4 Sec,電基本性能特點:10 Sec工做差壓規模:0.1~0.5 MPa MAX學習壓力:3MPa數據接口:Φ6,1/4''界面凸顯:4個數字界面凸顯工作上區域室溫:5~45℃室內外雙拋不銹鍍鋅鋼管:Φ6壓強進口真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥:Φ6
低真空機組VAU-02
枝術性能指標:氣體相對的溫度≤85%本職工作電電阻值:220V±10% 50~60HZ 熱效率:1Kw抽氣傳送速度:4Ls極根真空度:4X10-2Pa調查渦流度:1.0X10-1Pa容油:1.1L進氣口內徑:KF25改裝排氣管口公稱直徑:KF25帶速:1450rpm噪音分貝:50dB
外型尺寸:450×180×240mm
配真空粉塵過濾器,DN25手動蝶閥用于控制爐管內壓力,INFICON PCG554復合真空計