石墨烯CVD制备设备-上海昊量光电设备有限公司

石墨烯CVD制備設備

闡述分析：這款配置的低真空CVD系統由1200℃真空管式爐,3通道氣路系統和真空系統組成,可根據用戶需要設計生產有雙溫區、三溫區、多溫區）,可預抽真空（有高真空、低真空）,通多種氣氛（供氣系統有質子流量控制器和浮子流量控制器〕。真空泵、閥均釆用進口設備,性能可靠。控制電躋選用模糊PD程控技術,具有控溫精度髙,溫沖幅度小,性能可靠,簡單易操作等特點。石墨烯CVD制備設備

企業產品應用：

護墻板廠家質地：代理商

內容更新時長：2021-06-02

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品牌	其他品牌	產地類別	進口
應用領域	醫療衛生,生物產業,電子

納米材料CVD準備機

這個配制的低蒸空環境CVD方案由1200℃蒸空環境管式爐,3短信通道氣路方案和蒸空環境方案組成,可會根據大家必須方案分娩有雙溫區、三溫區、多溫區),可預抽蒸空環境(有高蒸空環境、低蒸空環境),通多歡樂積極性(燃氣管道安裝方案有質子熱度有效有效設定板和浮子熱度有效有效設定板〕。蒸空環境泵、閥均釆用進口報關裝置,功效準確的。有效有效設定電躋選擇使用模湖PD程控技術水平,更具控溫定位精度髙,溫沖浮度小,功效準確的,容易易操作方法等優勢特點。CVD植物發展方案應于CVD加工制作工藝 ,如氧化硅表層的鍍膜、陶片導電率測試測試、ZnO納米技術組成的實時控制植物發展、瓷器電感(MLCC)歡樂積極性燒結法等。

水平規格

1200雙溫區受熱爐

工作電壓 AC220V 50/60Hz

效率 4.5KW 雙溫控儀

Max熱度 1150 °C

工作溫度 ≤ 1100 °C

升溫速率 ≤ 15°C/min

恒溫裝置 PID半自動掌握雙向晶閘管（人工控制硅）輸出功率，30段可編程控制器

恒溫精度 ±1°C

石英石管 25/50/60/80*1400mm

三路產品訪問量操作裝置MAX電壓降 185~245V/50HzMAX導出效率 18W視頻壓力變送器原則量限 50，100，200，500SCCM（非特殊性以N2測定，量限供選擇定）

工作溫度 5~45 °C

業務壓差大 0.1~0.5 MPa

MAX負荷 3MPa

較準度 ±1.5%FS

低機械泵控制系統

選用雙極旋片渦流泵

不銹鋼裝飾管充油高壓氣負壓表，非常好的抗震加固性

連接脫水器

內置溫度檢測整體

溫度檢測元器件封裝可從加溫區外緣延申至溫區公司法蘭片封口，能保證爐管的封口性溫度檢測元器件封裝，N型電偶

法蘭部及支撐架

304不銹鋼材料便捷風冷管箍，短期風冷無金屬腐蝕，一家管箍就能做完管箍的連接方式，放取材料方便簡潔快速能自由調節節管箍的保障，平橫爐管的受壓力保障。帶有進氣，排氣，進口真空抽口針閥，KF膠封墊圈及管箍組成，4個膠封墊透明硅膠圈等。

可選裝耗材部件

混氣系統化化，中，高渦流系統化化，不同剛玉坩堝，熔融石英管，確定機管控平臺，無紙記錄好儀，氧含鋅量講解儀，制冷水循環系統機。

石墨烯CVD制備設備

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